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首頁 新聞中心 行業(yè)資訊 半導體無塵車間壓差怎么調(diào)整

半導體無塵車間壓差怎么調(diào)整

2024-10-29
共有4690家企業(yè)看過

  半導體無塵車間的壓差調(diào)整是一個復雜但至關(guān)重要的過程,它涉及到多個方面的控制和調(diào)節(jié)。以下是合潔科技電子潔凈工程公司一些關(guān)于如何調(diào)整半導體無塵車間壓差的方法和建議:

  一、潔凈空調(diào)系統(tǒng)的合理設(shè)計和配置

  1、確定壓差需求:根據(jù)車間的實際情況和潔凈度要求,合理設(shè)計和配置潔凈空調(diào)系統(tǒng)。一般情況下,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。

  2、選擇送風口:對于有潔凈度要求的工藝區(qū)域,配置高風量、低阻力的送風口;對于一般區(qū)域,配置低風量、高阻力的送風口,以實現(xiàn)壓差控制。

  二、壓差控制方法

  1、定風量控制法:

  通過風速儀測量總送風管中的平均截面風速,計算出總送風量,并將其與設(shè)計風量進行對比和調(diào)整,直至兩者一致。

  確定新風比例,并通過調(diào)節(jié)新風電動閥來控制新風量。

  通過調(diào)整潔凈走廊的回風閥角度(一般為40°~80°),實現(xiàn)對潔凈走廊的壓差控制。

  2、壓差閥控制法:

  壓差閥是一種專門用于控制壓差的裝置,可以安裝在工藝設(shè)備與潔凈室之間的隔斷門上。

  通過調(diào)節(jié)門的開啟程度,壓差閥可以控制潔凈室內(nèi)外的壓差。

  壓差閥可以自動或手動調(diào)節(jié),根據(jù)實際需要設(shè)定合適的壓差值。

  3、現(xiàn)代化壓差控制系統(tǒng):

  在關(guān)鍵區(qū)域安裝壓差傳感器,實時監(jiān)測壓差值的變化,并將信號傳輸給控制器進行處理。

  控制器根據(jù)設(shè)定的壓差值進行自動調(diào)節(jié),通過調(diào)整送風量、排風量等參數(shù)來控制壓差。


半導體無塵車間


  三、氣流組織形式的選擇

  1、上送上回或下送上回:根據(jù)車間的實際情況進行選擇和設(shè)計,以減少渦流和死角,保證車間的潔凈度和生產(chǎn)質(zhì)量。

  2、垂直單向流或非單向流:根據(jù)空氣潔凈度等級的要求選擇合適的氣流流型。

  四、人員培訓和管理

  1、制定嚴格的人員進出管理制度:控制人員的流動性和數(shù)量,以減少對車間壓差控制的影響。

  2、加強人員培訓:定期對操作人員進行培訓,提高他們的技能水平和責任心,確保壓差控制得到有效執(zhí)行。

  五、定期維護和檢測

  1、定期檢測壓差:定期對凈化車間的壓差進行檢測和記錄,確保壓差始終保持在設(shè)定的范圍內(nèi)。

  2、設(shè)備維護:對風機、風口、風閥等關(guān)鍵設(shè)備進行定期檢查和維護,確保其正常運行和有效工作。

  綜上所述,半導體無塵車間的壓差調(diào)整需要從潔凈空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計和配置、壓差控制方法、氣流組織形式的選擇、人員培訓和管理以及定期維護和檢測等多個方面入手。通過這些措施的實施和落實,可以確保半導體無塵車間的壓差得到有效控制和管理,為產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境安全提供有力保障。

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