潔凈級(jí)別:百級(jí)、千級(jí)、10萬級(jí)
建筑面積:8300平方米
項(xiàng)目地址:深圳
芯片封測(cè)廠無塵車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)要求非常嚴(yán)格,這些標(biāo)準(zhǔn)旨在確保芯片在封裝和測(cè)試過程中免受塵埃、微粒等污染物的侵害,從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。以下是合潔科技電子凈化工程公司對(duì)芯片封測(cè)廠無塵車間潔凈度標(biāo)準(zhǔn)要求的詳細(xì)解析:
一、國際通用標(biāo)準(zhǔn)
國際上常用的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)是ISO 14644,該標(biāo)準(zhǔn)將潔凈室等級(jí)從高到低依次劃分為ISO 1級(jí)至ISO 9級(jí)。在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中,常用的潔凈室等級(jí)包括十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)和萬級(jí)。
1、十級(jí)潔凈室:主要用于對(duì)潔凈度要求極高的生產(chǎn)環(huán)節(jié),如光刻機(jī)等特定設(shè)備的操作。在此級(jí)別下,空氣中直徑為0.5微米以上的微粒數(shù)量不超過十個(gè)。
2、百級(jí)潔凈室:適用于超純水生產(chǎn)和精密儀器生產(chǎn)等需要高潔凈度的環(huán)節(jié)。在此級(jí)別下,空氣中直徑為0.5微米以上的微粒數(shù)量不超過一百個(gè)。
3、千級(jí)潔凈室:主要用于普通的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié),如芯片制造。在此級(jí)別下,空氣中直徑為0.5微米以上的微粒數(shù)量不超過一千個(gè)。
4、萬級(jí)潔凈室:適用于對(duì)潔凈度要求相對(duì)較低的生產(chǎn)環(huán)節(jié),如印刷電路板(PCB)和后段貼片等。在此級(jí)別下,空氣中直徑為0.5微米以上的微粒數(shù)量不超過十萬個(gè)。
二、具體環(huán)境參數(shù)要求
除了微粒數(shù)量限制外,芯片封測(cè)廠無塵車間還需要滿足一系列環(huán)境參數(shù)要求:
1、溫度控制:電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,以維持穩(wěn)定的生產(chǎn)環(huán)境。
2、濕度控制:相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60%之間,以避免過于干燥導(dǎo)致靜電產(chǎn)生,從而損壞CMOS集成等元件。
3、風(fēng)量、壓差控制:風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等均需按需受控,以確保潔凈室內(nèi)的環(huán)境穩(wěn)定。
5、照度和風(fēng)速:照度、潔凈室截面風(fēng)速需按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,以保證生產(chǎn)操作的可見性和潔凈度。
三、其他要求
1、靜電控制:芯片封測(cè)廠無塵車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格,因?yàn)殪o電可能導(dǎo)致芯片損壞。因此,需要采取靜電消除措施,如使用防靜電地板、工作臺(tái)等。
2、空氣過濾和凈化:需要選擇合適的空氣過濾器和凈化設(shè)備,以確??諝庵械膲m埃粒子數(shù)目和大小符合要求。
3、布局和結(jié)構(gòu):無塵車間的布局和結(jié)構(gòu)應(yīng)合理,包括測(cè)試區(qū)域、設(shè)備布置、人流和物流等,以減少交叉污染的風(fēng)險(xiǎn)。
4、檢測(cè)和驗(yàn)證:建設(shè)完畢后需要進(jìn)行檢測(cè)和驗(yàn)證,確保無塵車間達(dá)到預(yù)期的標(biāo)準(zhǔn)和要求。
綜上所述,芯片封測(cè)廠無塵車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)要求非常嚴(yán)格,包括微粒數(shù)量限制、環(huán)境參數(shù)控制、靜電控制、空氣過濾和凈化等多個(gè)方面。這些要求旨在確保芯片在封裝和測(cè)試過程中免受污染,從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。