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半導體潔凈車間規(guī)范安裝詳解

2024-05-24
共有1081家企業(yè)看過

  在半導體產(chǎn)業(yè)中,潔凈車間的安裝和配置至關重要,它直接關系到半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。合潔科技電子凈化工程公司將詳細解析半導體潔凈車間的規(guī)范安裝過程,包括地面、墻面、天花板、電氣設備以及空調(diào)新風系統(tǒng)等的安裝要點,旨在幫助讀者了解并掌握半導體潔凈車間的安裝規(guī)范。

  1、確定設計方案:根據(jù)車間的使用需求和潔凈度要求,確定車間的設計方案,包括墻面、天花板、地面、門窗、空調(diào)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)等。

  2、材料采購:根據(jù)設計方案,采購符合潔凈度要求的材料。例如,地面材料應選用防滑、耐腐蝕、易清潔的材料,如環(huán)氧樹脂自流平地坪或PVC地坪;天花板材料應選用具有防火、防塵、防水、易清潔等特性的材料,如鋁合金板或PVC板;墻面材料應選用耐腐蝕、易清潔、無塵的材料,如彩鋼板或不銹鋼板。

  3、施工準備:對車間進行清潔和消毒,準備施工所需的工具和材料,如切割機、焊接機、螺絲刀、螺絲等。

  4、墻面和天花板施工:根據(jù)設計方案,對墻面和天花板進行施工,包括切割、焊接、固定等。注意保持施工環(huán)境的清潔,避免灰塵和雜質(zhì)對車間潔凈度的影響。


半導體潔凈廠房


  5、地面施工:根據(jù)設計方案,對地面進行施工,包括打磨、涂裝、固定等。確保地面的平整度、坡度和防滑性,同時應進行防潮處理。

  6、空調(diào)系統(tǒng)和照明系統(tǒng)安裝:根據(jù)設計方案,安裝空調(diào)系統(tǒng)和照明系統(tǒng),包括管道、電線、燈具等。注意空調(diào)系統(tǒng)的管道材料應選用耐腐蝕、易清潔、無毒的材料,如不銹鋼或聚丙烯管。照明系統(tǒng)應確保光線充足且均勻分布,避免陰影和眩光。

  7、門窗安裝:根據(jù)設計方案,安裝無塵門、無塵窗等特殊設計的門窗。確保門窗的密封性和氣密性,避免外界空氣和塵埃的進入。

  8、電氣設備安裝:電氣設備應按照設計圖紙進行安裝,確保其位置、大小和數(shù)量等參數(shù)符合設計要求。電纜橋架和電線管路應排列整齊,避免交叉和混亂。電氣設備的外殼應接地,以確保使用安全。

  9、消毒設備和垃圾處理設備安裝:根據(jù)設計方案,安裝紫外線消毒燈、臭氧消毒器等設備,以及密閉式垃圾桶和專門的垃圾處理設備。確保設備的正常運行和定期維護,以保證車間的潔凈度和衛(wèi)生狀況。

  10、FFU過濾器安裝:對于百級潔凈室等高級別潔凈區(qū)域,需要安裝FFU過濾器。從運輸包裝箱中小心地取出高效過濾器,查看在運輸過程中是否有任何部件損壞。取下塑料包裝袋,將FFU和高效過濾器放置在清潔的房間內(nèi)。然后,把FFU及高效過濾器安裝在吊頂龍骨上。

  11、空調(diào)控制系統(tǒng)安裝:采用全年自動控制系統(tǒng),控制器安裝在車間內(nèi),可顯示車間溫度,并可手動進行控制。確保系統(tǒng)的穩(wěn)定運行和精確控制,以滿足車間不同區(qū)域的溫度和濕度要求。

  12、新風系統(tǒng)安裝:每臺空氣處理機組均獨立設置新風系統(tǒng),新風管上安裝風量調(diào)節(jié)閥。新風經(jīng)過空氣處理機組集中制冷,并經(jīng)過初中高效過濾器處理后送入半導體芯片凈化車間內(nèi),確保半導體芯片凈化車間內(nèi)的新風量要求和正壓要求。

  13、隔斷安裝:生產(chǎn)車間隔斷用50mm厚巖棉彩鋼板,具有美觀耐腐蝕的特點,有良好的隔熱作用。隔斷安裝配件采用陰陽三維接點鋁球面,陽角處安裝鋁合金角鋁,門口斷開處應收口。施工安裝時,應先進行吊掛,錨固件與建筑主體結(jié)構(gòu)(地面、樓面、天花)的固定。

  在整個安裝過程中,需要嚴格遵守半導體潔凈車間的施工標準和規(guī)范,確保每個環(huán)節(jié)的施工質(zhì)量和潔凈度要求。同時,還需要對施工現(xiàn)場進行分區(qū)管理,確保各個作業(yè)區(qū)域的獨立性和安全性。

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