潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
半導體微電子潔凈廠房的裝修分區(qū)設計和基本要求是確保潔凈度要求的滿足和生產(chǎn)流程的順利進行。以下是合潔科技潔凈工程的一些建議的裝修分區(qū)設計和基本要求:
1、生產(chǎn)區(qū)域:將半導體微電子潔凈廠房劃分為不同的生產(chǎn)區(qū)域,根據(jù)工藝流程和潔凈度要求的不同進行區(qū)分。例如,可以劃分為晶圓加工區(qū)、封裝區(qū)、測試區(qū)等。每個區(qū)域應具備相應的潔凈度級別和控制措施。
2、工作區(qū)域:在每個生產(chǎn)區(qū)域內(nèi),劃分不同的工作區(qū)域,用于不同的工作任務和設備操作。例如,可以劃分為工作臺區(qū)、設備區(qū)、材料存放區(qū)等。每個工作區(qū)域應根據(jù)操作需求配置相應的設備和工具。
3、通道和過渡區(qū)域:設置通道和過渡區(qū)域,用于人員和物料的進出和過渡。通道應保持清潔,并設有適當?shù)臐崈舳瓤刂拼胧?,如潔凈通道、潔凈門等,以防止外部污染物進入潔凈區(qū)域。
4、潔凈度級別劃分:根據(jù)半導體微電子生產(chǎn)的要求,確定不同區(qū)域和工作區(qū)域的潔凈度級別。通常使用ISO 14644潔凈度標準來劃分潔凈度級別,如ISO 5、ISO 6、ISO 7等。確保每個區(qū)域的潔凈度級別符合相應的要求。
5、墻面、地面和天花板:選擇符合潔凈要求的材料,如潔凈室墻面、地板和天花板。這些材料應具有低揮發(fā)性和低顆粒釋放率,易于清潔和維護。墻面、地面和天花板之間的連接應密封良好,以防止顆粒和污染物的積聚。
6、空氣過濾系統(tǒng):安裝高效的空氣過濾器,如HEPA或ULPA過濾器,以過濾空氣中的微小顆粒和污染物。根據(jù)潔凈度要求選擇合適的過濾器級別,并確保過濾器的性能和定期更換。
7、空氣流動控制:通過正壓控制和空氣流動控制,保持半導體微電子潔凈廠房內(nèi)的空氣流動和壓力控制良好。確保送風、回風和排風系統(tǒng)的設計和運行正常,以保持適當?shù)目諝饬鲃雍蛪毫Σ睢?/span>
8、靜電控制:采取靜電控制措施,如導電地板、靜電消除裝置和防靜電工作臺等,以減少靜電帶來的顆粒吸附和干擾。保證設備和工作區(qū)域的靜電控制良好。
9、照明和電源:選擇適當?shù)恼彰髟O備,以提供充足的照明強度,并符合潔凈要求。確保電源系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性,以支持設備和工作區(qū)域的正常運行。
10、清潔和維護程序:制定和執(zhí)行適當?shù)那鍧嵑途S護程序,包括定期的清潔、消毒和維護工作。確保設備和工作區(qū)域的清潔,并及時處理發(fā)現(xiàn)的問題和異常。
以上是一些基本的裝修分區(qū)設計和要求,具體的設計和要求應根據(jù)實際情況、潔凈度要求和工藝流程進行細化和調(diào)整。建議在裝修過程中咨詢專業(yè)的工程師和技術人員,以確保裝修方案的合理性和有效性。