中華人民共和國國家標準

　　薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規(guī)范

　　Code for design of thin film transistor liquid crystal display plant

　　GB51136-2015

　　主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部

　　批準部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

　　施行日期：2016年6月1日

　　中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告

　　第926號

　　住房城鄉(xiāng)建設部關于發(fā)布國家標準《薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規(guī)范》的公告

　　現(xiàn)批準《薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規(guī)范》為國家標準，編號為GB51136-2015，自2016年6月1日起實施。其中，第10.2.5、10.5.2(2)、10.6.6(1)條(款)為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

　　本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

　　中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

　　2015年9月30日

　　前言

　　本規(guī)范是根據(jù)住房和城鄉(xiāng)建設部《關于印發(fā)<2009年工程建設標準規(guī)范制訂、修訂計劃>的通知》(建標[2009]88號)的要求，由工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院電子工程標準定額站和中國電子工程設計院會同有關單位共同編制完成。

　　在規(guī)范編制過程中，編制組先后調(diào)查和走訪了國內(nèi)有關液晶顯示器的生產(chǎn)單位、設計單位和施工單位，收集了有關液晶顯示器工廠的設計要求，認真總結實踐經(jīng)驗，參考有關國際標準和國外先進標準，并在廣泛征求意見的基礎上，反復修改，經(jīng)審查定稿。

　　本規(guī)范共分14章和2個附錄，主要內(nèi)容包括總則，術語，基本規(guī)定，工藝，廠址選擇及總體規(guī)劃，建筑，結構，氣體動力，供暖、通風、空氣調(diào)節(jié)與凈化，給水排水，電氣，防靜電，化學品，空間管理等。

　　本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

　　本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負責日常管理，由中國電子工程設計院負責具體技術內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，希望各單位認真總結經(jīng)驗，注意積累資料，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補充之處，請將有關意見、建議和相關資料寄送中國電子工程設計院(地址：北京市海淀區(qū)西四環(huán)北路160號，郵政編碼：100142，傳真：010-88193999)，以供今后修訂時參考。

　　本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

　　主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院電子工程標準定額站

　　中國電子工程設計院

　　參編單位：世源科技工程有限公司

　　信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司

　　上海電子工程設計研究院有限公司

　　京東方科技集團股份有限公司

　　中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司

　　中國電子系統(tǒng)工程第四建設有限公司

　　上?；輥嗕X合金制品有限公司

　　液化空氣(中國)投資有限公司

　　主要起草人：黃文勝 李強 晁陽 趙廣鵬 鄭秉孝 李驥 秦學禮 肖紅梅 王凌旭 吳曉斌 鐘景華 韓方俊 張家紅 李志偉 王開源 杜寶強 孫宇明 馮衛(wèi)中 李衛(wèi) 何正山

　　主要審查人：張百哲 薛長立 邵慶良 關旭東 闞強 葉鳴 邵曉鋼 任向東 孫振安

　　1 總 則

　　1.0.1 為在薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計中貫徹執(zhí)行國家的有關法律、法規(guī)和規(guī)定，滿足薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)要求，確保人身和財產(chǎn)安全，做到安全可靠、節(jié)能環(huán)保、技術先進、經(jīng)濟合理和確保質(zhì)量的要求，制定本規(guī)范。

　　1.0.2 本規(guī)范適用于新建、改建、擴建薄膜晶體管液晶顯示器工廠的工程設計。

　　1.0.3 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計除應符合本規(guī)范外，尚應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。

　　2 術 語

　　2.0.1 薄膜晶體管液晶顯示器 thin film transistor liquid crystal display(TFT-LCD)

　　使用薄膜晶體管作為控制像素開關，采用有源矩陣直接驅動像素方式的液晶顯示器。

　　2.0.2 全自動物料搬送系統(tǒng) automated material handling system(AMHS)

　　在一個過程或邏輯動作系統(tǒng)中，一系列相關的自動化設備及裝置協(xié)調(diào)、合理地對物料進行移動、儲存或控制的系統(tǒng)。

　　2.0.3 玻璃基板 glass substrate

　　由表面極其平整的薄玻璃片構成的液晶顯示器件的基本部件。

　　2.0.4 陣列 array

　　在玻璃基板上通過成膜、光刻、刻蝕等半導體工藝技術，制作有規(guī)則排列的特定薄膜晶體管(開關器件)陣列，以形成數(shù)據(jù)線、存儲電容和信號線的工藝。

　　2.0.5 彩膜 color filter(CF)

　　在透明基板上依規(guī)則排列紅、綠、藍三基色的圖形，只能使所需要的色光通過的濾光片，又稱彩色濾色片。

　　2.0.6 成盒 cell

　　將已制備好的薄膜晶體管液晶顯示器陣列玻璃基板和彩色濾光片玻璃基板組裝到一起，使兩塊玻璃基板之間充有液晶材料，加上適應的電場即可進行圖像顯示的液晶盒(屏)的工藝過程。

　　2.0.7 空間管理 space management

　　為有效利用空間、縮短工作流程，對大到整個廠區(qū)的建筑物布局、地下管線規(guī)劃，小到一棟建筑物內(nèi)部各個專業(yè)間的配置協(xié)調(diào)而進行的設計。

　　2.0.8 干法刻蝕 dry etching process

　　在氣相中對基板表面、被蝕刻物質(zhì)進行刻蝕的方法。

　　2.0.9 等離子體增強化學氣相沉積 plasma enhanced chemi-cal vapor deposition(PECVD)

　　利用等離子體的活性促進反應，能在較低溫度下進行化學氣相沉積法的反應。

　　3 基本規(guī)定

　　3.0.1 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計應合理利用資源，保護環(huán)境，防止和減少在生產(chǎn)建設活動中產(chǎn)生的廢氣、廢水、廢液、廢渣、粉塵以及噪聲、振動、電磁波輻射對環(huán)境的污染和危害。

　　3.0.2 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計應符合下列規(guī)定：

　　1根據(jù)生產(chǎn)工藝的特點，應采用節(jié)能環(huán)保的新技術、新設備、新材料;

　　2應滿足設備安裝、調(diào)試檢修、安全生產(chǎn)、維護管理的要求;

　　3應采取措施滿足消防安全的要求;

　　4應采取節(jié)約能源措施;

　　5應滿足薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)所需要超大空間潔凈環(huán)境的要求。

　　3.0.3薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)線的設計能力應符合經(jīng)濟規(guī)模的要求，設計中應根據(jù)企業(yè)發(fā)展規(guī)劃為今后生產(chǎn)發(fā)展或工藝改進預留條件。

　　4 工藝

　　4.1一般規(guī)定

　　4.1.1工藝設計應符合下列規(guī)定：

　　1應確保生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量;

　　2應預防和減少職業(yè)病危害因素對勞動者健康的損害和影響，降低工人勞動強度;

　　3應具有靈活性和適應性;

　　4應有利于降低工程造價和運行費用。

　　4.1.2工藝設計中所確定的生產(chǎn)空間及其布置、生產(chǎn)環(huán)境參數(shù)和動力供應要求應滿足工藝生產(chǎn)的要求，并應為生產(chǎn)技術的升級改造預留必要的條件。

　　4.1.3與生產(chǎn)工藝直接相關的生產(chǎn)部門宜采用連續(xù)運轉的生產(chǎn)組織方式，其他輔助生產(chǎn)部門的工作班次可根據(jù)生產(chǎn)需要確定。

　　4.2基本工序

　　4.2.1生產(chǎn)加工工序可按本規(guī)范附錄A所列各段工序內(nèi)容和流程確定。

　　4.2.2生產(chǎn)的主要工序應完整、配套，陣列、彩膜和成盒工序段宜設置在同一廠區(qū)內(nèi)。

　　4.2.3工廠中應設置與主生產(chǎn)工藝有關的輔助生產(chǎn)和有關技術服務設施。

　　4.3工藝區(qū)劃

　　4.3.1陣列、彩膜和成盒工藝段核心生產(chǎn)區(qū)域的工藝區(qū)劃應符合下列規(guī)定：

　　1工藝區(qū)劃應根據(jù)工藝特點和環(huán)境要求進行組合，且宜采用疊層布置。

　　2工藝區(qū)劃應避免工藝設備之間振動、電磁輻射、熱輻射和空氣污染的影響。

　　3進入生產(chǎn)區(qū)的人流和物流入口應分別設置，并應設置相應人身和物料凈化設施。

　　4生產(chǎn)區(qū)域應設置設備搬入口和搬入通道;生產(chǎn)區(qū)域設備安裝平面高于室外地坪1.5m以上時，應設置設備吊裝搬入平臺。

　　5各工藝段內(nèi)的工藝設備應依工藝流程并按工序集中的原則進行布置。

　　6生產(chǎn)輔助部門中與生產(chǎn)密切聯(lián)系的部門應靠近生產(chǎn)區(qū)。

　　4.3.2生產(chǎn)區(qū)設置參觀設施時，參觀區(qū)域及其通道的環(huán)境應與生產(chǎn)環(huán)境隔離，并應保證生產(chǎn)區(qū)域物流和人員疏散通道的通暢。

　　4.3.3工廠中應設有原、輔材料和廢料倉儲設施，庫房設置應符合下列規(guī)定：

　　1根據(jù)所存儲物料的物理化學特性和存儲環(huán)境要求，應分類設置各類庫房。其中化學品的物理化學特性應以有關化學品供應商提供的化學品安全數(shù)據(jù)說明書為準，化學品儲存區(qū)域的設計應符合本規(guī)范第13.2.1條～第13.2.6條的有關規(guī)定。

　　2主要原、輔材料和產(chǎn)品庫房應設裝卸貨平臺。

　　4.3.4核心生產(chǎn)區(qū)域設有技術夾層時，應在技術夾層設置設備搬運和檢修通道。

　　4.4設備配置

　　4.4.1生產(chǎn)設備和輔助設備的選擇應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定，且宜采用自動化程度高、耗能低、排放少的設備。

　　4.4.2陣列、彩膜和成盒工序應采用玻璃基板卡匣或其他專用工裝搬運產(chǎn)品，批量生產(chǎn)線宜采用全自動物料搬送系統(tǒng)。生產(chǎn)區(qū)采取多層布置方式時，跨層生產(chǎn)區(qū)之間的產(chǎn)品搬運宜設置自動垂直運輸設備。

　　4.4.3化學氣相沉積和物理氣相沉積設備安裝區(qū)域應配置潔凈室專用的檢修起重設備。

　　5 廠址選擇及總體規(guī)劃

　　5.1廠址選擇

　　5.1.1廠址選擇應符合工業(yè)布局和地區(qū)建設規(guī)劃的要求，應按建設規(guī)模、原材料來源、交通運輸、供電、供水、供氣、工程地質(zhì)、企業(yè)協(xié)作條件、場地現(xiàn)有設施、環(huán)境保護和產(chǎn)品市場流向各因素進行技術經(jīng)濟比較后確定。

　　5.1.2廠址選擇應符合下列規(guī)定：

　　1應避免生產(chǎn)的危險或有害因素對周邊人群居住或活動環(huán)境產(chǎn)生影響;

　　2應避開大氣含塵量高及含有對工藝生產(chǎn)有影響的化學物質(zhì)的區(qū)域;

　　3建設場地環(huán)境的振源和振動值不得對工藝生產(chǎn)造成不利影響。

　　5.1.3廠址應具有滿足生產(chǎn)生活及發(fā)展規(guī)劃所必需的水源、電源和燃氣，輸電、輸水線路應短捷、可靠。

　　5.1.4廠址選擇應滿足企業(yè)遠期發(fā)展規(guī)劃的需要。

　　5.1.5工程地質(zhì)、水文復雜的地帶和抗震設防烈度高于8度的地區(qū)及具有開采價值的礦藏區(qū)不得選為廠址。

　　5.1.6薄膜晶體管液晶顯示器工廠應按現(xiàn)行國家標準《防洪標準》GB50201的Ⅰ級防洪標準設計，場地設計標高應高于設計頻率水位0.5m。

　　5.2總體規(guī)劃

　　5.2.1工廠的總體規(guī)劃應符合所在地區(qū)的規(guī)劃要求，并應有利于聯(lián)合同鄰近工業(yè)企業(yè)在交通運輸、動力設施、綜合利用和生活設施等方面的協(xié)作。

　　5.2.2工廠的總平面布置應符合下列規(guī)定：

　　1總平面布置應符合生產(chǎn)工藝流程及微振控制要求。生產(chǎn)廠房根據(jù)生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的具體要求，宜聯(lián)合多層布置。

　　2生產(chǎn)區(qū)、動力輔助區(qū)、倉儲區(qū)和辦公、生活區(qū)各功能區(qū)域應合理布置。各種輔助和附屬設施宜鄰近其服務的車間，動力供應設施宜接近負荷中心。

　　3建筑物外形宜規(guī)整，行政辦公及生活設施宜集中設置。

　　4原料物料的運輸路線應短捷、方便，并應避免物流與人流交叉干擾。

　　5.2.3改建、擴建的薄膜晶體管液晶顯示器工廠總平面設計，應合理利用現(xiàn)有設施，并應減少改建、擴建工程對生產(chǎn)的影響。

　　5.2.4對于有微振控制要求的廠房，應實際測量周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的數(shù)值，并應與允許振動值比較分析后確定位置選擇。

　　5.2.5儲存易燃、易爆、有毒物品的庫房、儲罐、堆場宜布置在場區(qū)全年最小頻率風向的上風側，并應遠離火源、主要建(構)筑物和人員集中的地帶。儲存液態(tài)介質(zhì)的儲罐四周應按現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定設置防止事故泄漏的防火堤、防護墻或圍堰。儲存區(qū)宜設置圍墻和專用出入口。

　　5.2.6儲存易燃、易爆、有毒物品的庫房、儲罐、堆場與建筑及道路的間距應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

　　5.2.7廠區(qū)的豎向設計宜充分利用原有地形，減少土石方。當采用階梯布置時，生產(chǎn)聯(lián)系密切的建筑物、構筑物應布置在同一臺階或相鄰臺階上。

　　5.2.8廠區(qū)給水、排水、循環(huán)水及電纜等管線宜選用地下敷設方式，廠區(qū)易燃、可燃液體、燃氣、熱力、壓縮空氣、大宗氣體、特種氣體等管線宜選用地上管架敷設方式，地上、地下管道的布置應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)企業(yè)總平面設計規(guī)范》GB50187的有關規(guī)定。

　　6 建筑

　　6.1一般規(guī)定

　　6.1.1廠房的建筑平面和空間布局應適應產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展的靈活性，并應滿足生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求。

　　6.1.2薄膜晶體管液晶顯示器工廠生產(chǎn)廠房、辦公樓、動力廠房之間的人流、物流宜采用連廊進行聯(lián)系。

　　6.1.3廠房潔凈生產(chǎn)區(qū)內(nèi)不宜設置變形縫。

　　6.1.4生產(chǎn)廠房圍護結構材料的選擇應滿足生產(chǎn)對環(huán)境的氣密、保溫、隔熱、防火、防潮、防塵、耐久、易清洗的要求。

　　6.1.5廠房圍護結構傳熱系數(shù)限值應符合現(xiàn)行國家標準《電子工程節(jié)能設計規(guī)范》GB50710的有關規(guī)定。外墻、外窗、屋面的內(nèi)表面溫度不應低于室內(nèi)空氣露點溫度。

　　6.1.6廠房應根據(jù)工藝及動力設備需要設置設備搬入口及設備搬入平臺。

　　6.1.7廠房內(nèi)應設置工藝設備、動力設備的搬入及運輸安裝通道，通道寬度應滿足人員操作、物料運輸、設備安裝、檢修的要求。

　　6.1.8潔凈區(qū)內(nèi)位于搬運通道的高架地板應滿足設備搬運荷載要求。

　　6.1.9廠房室內(nèi)裝修應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》GB50222和《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。

　　6.2防火及安全疏散

　　6.2.1薄膜晶體管液晶顯示器工廠廠房的耐火等級不應低于二級。

　　6.2.2廠房各工作間生產(chǎn)的火災危險性分類應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。

　　6.2.3廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。陣列、成盒、彩膜、模組廠房的潔凈室，在關鍵工藝設備自帶火災報警和滅火裝置以及在回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的早期煙霧探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

　　6.2.4廠房安全出口的設置應符合下列規(guī)定：

　　1安全出口數(shù)目應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472中的有關規(guī)定。

　　2廠房內(nèi)任一點到最近安全出口的距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。

　　3陣列、成盒、彩膜、模組廠房，在關鍵工藝設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。當潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/m2時，安全疏散距離不得大于120m。

　　4陣列、成盒、彩膜、模組廠房，當潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/m2，且潔凈生產(chǎn)區(qū)與技術支持區(qū)位于不同的防火分區(qū)時，可共用安全出口，安全出口應設置共用前室或安全通道。

　　6.2.5當潔凈廠房的潔凈區(qū)各層靠外墻布置時，應設可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于80m時，應在該段外墻的適當部位設置專用消防口。專用消防口的設計應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。

　　6.2.6穿過不同生產(chǎn)樓層的自動化垂直搬運系統(tǒng)除物料進、出口外，應采用耐火時間不低于0.4h的不燃材料封閉，物料進、出口防火措施應按本規(guī)范第10.6.6條的有關規(guī)定執(zhí)行。

　　6.2.7易燃、易爆化學品及氣體的配送間應靠外墻布置，房間泄壓面積應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定，不得設置在人員密集房間和疏散走道的上方、下方或貼鄰。

　　6.2.8易燃、易爆化學品儲存間、配送間應采用不發(fā)生火花的防靜電地面，腐蝕性化學品儲存間、配送間應采用防腐蝕地面。

　　7 結構

　　7.1一般規(guī)定

　　7.1.1陣列、彩膜、成盒廠房的建筑工程抗震設防類別宜采用重點設防類。

　　7.1.2陣列、彩膜、成盒廠房工藝樓層梁的間距或無梁樓蓋厚板上洞口的間距宜符合600mm的模數(shù)。

　　7.1.3陣列、彩膜、成盒廠房結構設計應滿足工藝設備的微振動控制標準。

　　7.1.4廠房上部結構與基礎之間不應設置橡膠隔震支座。

　　7.2廠房結構設計

　　7.2.1廠房的結構宜采用鋼筋混凝土結構或鋼-混凝土混合結構。

　　7.2.2生產(chǎn)廠房核心區(qū)結構與周邊的支持區(qū)、辦公區(qū)結構之間宜設置伸縮縫。

　　7.2.3核心區(qū)的樓層結構與支承屋面的主體結構間不宜設置伸縮縫。

　　7.2.4廠房的屋蓋系統(tǒng)根據(jù)其開間和跨度大小可采用下列結構形式：

　　1現(xiàn)澆鋼筋混凝土屋蓋;

　　2鋼梁加鋼樓承板的現(xiàn)澆鋼筋混凝土屋面;

　　3鋼屋架、鋼梁加鋼樓承板的現(xiàn)澆鋼筋混凝土屋面;

　　4有保溫層的壓型鋼板輕型屋面。

　　7.2.5生產(chǎn)廠房核心區(qū)不應設置伸縮縫時，應采取措施減少溫度變化和混凝土收縮對結構的影響。

　　7.2.6當工藝生產(chǎn)采用疊層布置時，框架結構宜設置柱間支撐。

　　7.2.7樓層使用荷載標準值應根據(jù)設備的布置、重量和基座平臺的做法確定。

　　7.2.8樓板及屋蓋的吊掛荷載應根據(jù)吊掛層的做法、管道及設備的布置等因素確定。

　　7.2.9廠房結構整體抗震計算中，建筑的重力荷載代表值宜按樓層的實際設備荷載情況確定。

　　7.2.10廠房結構計算應根據(jù)設備的實際布置范圍、運輸安裝情況，驗算局部的梁、柱、基礎滿足正常使用極限狀態(tài)和承載能力極限狀態(tài)的要求。

　　7.2.11生產(chǎn)廠房結構整體計算時，應采用樓層框架梁的實際抗彎剛度進行結構分析。

　　7.2.12生產(chǎn)廠房核心區(qū)樓層的鋼筋混凝土梁不宜采用預應力結構。

　　7.2.13核心區(qū)的廠房結構采用鋼筋混凝土結構時，鋼筋混凝土的梁角、柱角宜采用切角做法。

　　7.2.14工藝生產(chǎn)樓層的鋼筋混凝土梁或鋼梁梁頂?shù)钠秸葢獫M足2m內(nèi)不大于2mm，50m內(nèi)不大于25mm的要求。

　　7.2.15廠房內(nèi)的參觀走道宜采用鋼結構。

　　7.2.16設備的基礎不應跨越伸縮縫。

　　7.3微振動控制標準

　　7.3.1有微振控制要求的工藝設備應由制造廠商提供設備臺座處的振動評價方法、微振動控制標準及要求。

　　7.3.2有微振控制要求的工藝設備的支承面振動值應在相應微振動標準曲線以下。微振動標準曲線可按本規(guī)范附錄B采用。

　　7.3.3曝光機、涂布機等工藝設備應滿足生產(chǎn)廠商對設備支承部位的動態(tài)剛度標準值要求。

　　7.4微振動控制設計及測試

　　7.4.1微振動控制設計應包括下列因素：

　　1廠房外部振源;

　　2廠房內(nèi)部操作人員行走;

　　3生產(chǎn)和動力設備運行;

　　4管道內(nèi)流體流動;

　　5工藝設備的固有頻率。

　　7.4.2同一個工藝生產(chǎn)樓層中，垂直方向可按不同設備的微振動控制要求選擇不同的微振動控制標準，水平方向應按全部設備中最嚴格的微振動控制標準要求選擇。

　　7.4.3核心區(qū)樓層結構應采用小柱距的布置方案，VC-C微振動控制標準的區(qū)域柱距不宜大于6m;VC-A、VC-B微振動控制標準的區(qū)域柱距不宜大于10m。

　　7.4.4首層地板應采用鋼筋混凝土結構，厚度不宜小于400mm，并應與主體結構連成整體。

　　7.4.5微振動控制在工程建設中應按下列步驟進行微振動測試及分析評估工作：

　　1場地環(huán)境振源的調(diào)查、振動測試及分析評估;

　　2結構樓層的動力特性測試及分析評估;

　　3支持區(qū)動力設備運行時基座平臺上的振動測試及分析評估;

　　4工藝設備運行時基座平臺上的振動測試及分析評估。

　　7.5基座平臺設計

　　7.5.1有微振控制要求的設備基座平臺應根據(jù)工藝樓層的微振控制標準、設備的技術要求選擇合適的結構方案。

　　7.5.2基座平臺的鋼筋混凝土部分厚度不宜小于200mm。

　　7.5.3基座平臺的結構部分與周邊的架空地板及其支承鋼梁之間應設置伸縮縫，縫寬不宜大于10mm。

　　7.5.4基座平臺的基本頻率應避開其下支承結構的基本頻率。

　　8 氣體動力

　　8.1冷、熱源

　　8.1.1工廠人工冷、熱源宜采用集中設置的冷(熱)水機組和供熱、換熱設備。機型和設備應根據(jù)工廠所在地區(qū)的氣候、能源結構、政策、價格及環(huán)保規(guī)定選擇，并應符合下列規(guī)定：

　　1熱源應優(yōu)先采用工廠余熱和城市、區(qū)域供熱;

　　2具有城市工業(yè)燃氣供應的地區(qū)，可采用燃氣鍋爐、燃氣熱水機組供熱或燃氣吸收式冷(熱)水機組供冷、供熱;

　　3無上述能源供應的地區(qū)，可采用燃油鍋爐供熱，電動壓縮式冷水機組供冷和燃油吸收式冷(熱)水機組供冷、供熱;

　　4在夏熱冬冷地區(qū)、干旱缺水地區(qū)的辦公樓等建筑可采用空氣源熱泵或地源熱泵冷(熱)水機組供冷、供熱;

　　5有天然水等資源可以利用時，可采用水源熱泵冷(熱)水機組供冷、供熱。

　　8.1.2在同時需要供冷和供熱的工況下，冷水機組宜根據(jù)負荷要求選用熱回收機組，并宜采用自動控制的方式調(diào)節(jié)機組的供熱量。

　　8.1.3冷、熱源設備臺數(shù)和單臺容量應根據(jù)全年冷、熱負荷工況合理選擇，并宜保證設備在滿負荷和部分負荷工況下均能安全、高效運行。

　　8.1.4過渡季節(jié)或冬季需用一定量的供冷負荷時，宜利用冷卻塔作為冷源設備。

　　8.1.5冷水機組的冷凍水供、回水溫差宜為7℃，在滿足工藝及空調(diào)用冷凍水溫度的前提下，應加大冷凍水供、回水溫差和提高冷水機組的出水溫度。

　　8.1.6當冷負荷變化較大時，冷源系統(tǒng)的部分或全部設備宜采用變頻調(diào)速控制。

　　8.1.7冷水機組的能效比不應低于現(xiàn)行國家標準《冷水機組能效限定值及能源效率等級》GB19577的規(guī)定值，并應優(yōu)先選用能效比高的設備。

　　8.1.8電動壓縮式冷水機組的選型應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)建筑供暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范》GB50019的有關規(guī)定。

　　8.1.9燃油燃氣鍋爐應選用帶比例調(diào)節(jié)燃燒器的全自動鍋爐，且每臺鍋爐宜獨立設置煙囪，煙囪的高度應滿足現(xiàn)行國家標準《鍋爐大氣污染物排放標準》GB13271和項目環(huán)境評價報告的要求。

　　8.1.10鍋爐房排放的大氣污染物應符合現(xiàn)行國家標準《大氣污染物綜合排放標準》GB16297和所在地區(qū)有關大氣污染物排放標準的有關規(guī)定。

　　8.2大宗氣體供應

　　8.2.1大宗氣體輸送系統(tǒng)設計應符合下列規(guī)定：

　　1工廠應根據(jù)生產(chǎn)的需求確定大宗氣體的種類，其氣體品質(zhì)應滿足生產(chǎn)工藝要求;

　　2大宗氣體的供氣方式應根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r各種因素確定;

　　3氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管，放散管應引至室外并應高出建筑的屋脊1m，氫氣放散管道上應設置阻火器;

　　4潔凈廠房內(nèi)氣體管道的干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi);

　　5潔凈室內(nèi)的氫氣管道應明敷，穿過潔凈室的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施;

　　6氫氣管道不得穿過不使用此類氣體的房間，當必須穿過時應設套管或使用雙層管;

　　7氫氣和氧氣管道應設置靜電泄導的接地設施。

　　8.2.2高純大宗氣體供應系統(tǒng)工藝設計應符合現(xiàn)行國家標準《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術規(guī)范》GB50724的有關規(guī)定。

　　8.2.3大宗氣體純化間或氣體入口室內(nèi)設有氫氣等可燃氣體裝置時，其火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規(guī)定：

　　1可燃氣體裝置應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施;

　　2氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥;

　　3應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置;

　　4應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置連鎖。

　　8.2.4大宗氣體管道和閥門應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，并應符合下列規(guī)定：

　　1氣體純度大于或等于99.9999%時，宜采用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管，閥門應采用隔膜閥、波紋管閥;

　　2氣體純度大于或等于99.999%、露點低于—76℃時，宜采用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管或內(nèi)壁電拋光的低碳奧氏體不銹鋼無縫鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥;

　　3氣體純度大于或等于99.99%、露點低于—60℃時，宜采用內(nèi)壁拋光的奧氏體不銹鋼無縫鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥;

　　4氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

　　8.2.5大宗氣體管道連接應符合下列規(guī)定：

　　1不銹鋼管應采用氬弧焊，宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊;

　　2管道與設備或閥門的連接宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

　　3管道與設備的連接應符合設備連接的要求，當采用軟管連接時，應采用金屬軟管

　　8.3特種氣體供應

　　8.3.1特種氣體供應應采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體，在工廠內(nèi)應設置儲存、分配系統(tǒng)。

　　8.3.2特種氣體供應儲存分配系統(tǒng)設備應根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲存數(shù)量布置在獨立的建(構)筑物內(nèi)或生產(chǎn)廠房的專用房間內(nèi)。

　　8.3.3布置在獨立的建(構)筑物內(nèi)或區(qū)域的特種氣體設備的火災危險性的確定應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

　　8.3.4布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的自燃、可燃特種氣體設備分配間的火災危險性應按甲類確定。

　　8.3.5新建工廠的大宗硅烷站應布置在獨立建筑物或構筑物內(nèi)，改、擴建項目的大宗硅烷站可與工廠其他氣體供應站房布置在同一棟建筑物內(nèi)，并應用防爆墻與其他氣體供應間隔開。

　　8.3.6特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜、氣瓶架的設置應符合現(xiàn)行國家標準《特種氣體系統(tǒng)工程技術規(guī)范》GB50646的有關規(guī)定。

　　8.3.7可燃特種氣體的氣瓶柜應符合下列規(guī)定：

　　1硅烷氣瓶柜的排風換氣次數(shù)不得低于1200次/h，且氣瓶柜的負壓應連續(xù)監(jiān)控;

　　2自燃特種氣體的氣瓶柜應設置紫外、紅外火焰探測器及自動滅火系統(tǒng);

　　3可燃特種氣體的氣瓶柜應設置自動滅火系統(tǒng);

　　4自燃、可燃特種氣體的氣瓶柜應在氣瓶之間設置隔離鋼板。

　　8.3.8特種氣體系統(tǒng)吹掃氮氣的設置應符合下列規(guī)定：

　　1特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應與獨立的氮氣源連接，并不得與公用氮氣或工藝氮氣系統(tǒng)相連;

　　2不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源;

　　3吹掃氮氣管線應設置止回閥。

　　8.3.9特種氣體排氣與廢氣處理的設置應符合下列規(guī)定：

　　1特種氣體系統(tǒng)的排氣管應設置氮氣稀釋與連續(xù)吹掃裝置，防止空氣倒流造成污染和腐蝕;

　　2不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管;

　　3自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣應經(jīng)過尾氣處理裝置進行處理，確保達到國家規(guī)定的允許排放標準。

　　8.3.10生產(chǎn)廠房內(nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應明敷，穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應設置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采用密封措施?？扇?、毒性、腐蝕性氣體管道的機械連接處應置于排風罩內(nèi)。

　　8.3.11特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應采用奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管，內(nèi)表面應進行潔凈和鈍化處理。

　　8.3.12可燃、氧化性特種氣體管道應設置靜電泄導的接地設施。

　　8.3.13室外布置的特種氣體管道應架空布置。

　　8.3.14具有自燃、劇毒性、強腐蝕性的特種氣體宜采用雙套管設計，內(nèi)管走工藝氣體，套管間可采用封閉或開放形式。

　　8.4壓縮空氣供應

　　8.4.1干燥壓縮空氣系統(tǒng)應滿足生產(chǎn)工藝、供氣量和供氣品質(zhì)的要求，并應符合下列規(guī)定：

　　1干燥壓縮空氣系統(tǒng)的供氣規(guī)模應按生產(chǎn)工藝所需實際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定;

　　2供氣設備可集中布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房外的綜合動力站;

　　3供氣設備應選用能耗少、噪聲低的設備，空氣壓縮機應選用無油潤滑空氣壓縮機。

　　8.4.2風冷式空氣壓縮機及風冷式干燥裝置的設備布置應防止冷卻空氣發(fā)生短路現(xiàn)象。

　　8.4.3當干燥壓縮空氣輸送露點低于—76℃時，應采用內(nèi)壁電拋光不銹鋼管;當干燥壓縮空氣輸送露點低于—40℃時，應采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。

　　8.4.4壓縮空氣系統(tǒng)的管道設計應符合下列規(guī)定：

　　1壓縮空氣主管路設計宜布置成環(huán)狀或支狀系統(tǒng);

　　2壓縮空氣主管道的直徑應按全系統(tǒng)實際用氣量進行設計，主支管道的直徑應按局部系統(tǒng)實際用氣量進行設計，支管道的直徑應按設備最大用氣量進行設計;

　　3干燥壓縮空氣輸送露點低于—40℃時，用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片;

　　4采用軟管連接時，宜選用金屬軟管。

　　8.5工藝真空和清掃真空

　　8.5.1工藝真空系統(tǒng)的設計應符合下列規(guī)定：

　　1工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應按生產(chǎn)工藝所需實際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定;

　　2供氣設備應布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的一個或多個供氣站內(nèi);

　　3工藝真空設備應選用能耗少、噪聲低的設備;

　　4工藝真空設備應根據(jù)工藝系統(tǒng)的實際情況選用水環(huán)式或干式真空泵;

　　5工藝真空系統(tǒng)宜設置真空壓力過低保護裝置。

　　8.5.2工藝真空系統(tǒng)的管道設計應符合下列規(guī)定：

　　1工藝真空管路設計應布置成支狀系統(tǒng);

　　2工藝真空主管道的直徑應按全系統(tǒng)實際抽氣量進行設計;主支管道的直徑應按照局部系統(tǒng)實際抽氣量進行設計，支管道的直徑應按設備最大抽氣量進行設計;

　　3工藝真空系統(tǒng)的管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道;

　　4采用軟管連接時，應選用金屬軟管。

　　8.5.3潔凈室(區(qū))宜設置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道宜暗敷。

　　9 供暖、通風、空氣調(diào)節(jié)與凈化

　　9.1一般規(guī)定

　　9.1.1潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。

　　9.1.2潔凈室(區(qū))的氣流組織應根據(jù)潔凈度等級以及生產(chǎn)工藝要求確定。

　　9.1.3凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設置的原則除應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定外，還應符合下列規(guī)定：

　　1溫、濕度基數(shù)差別大的潔凈室應分開設置凈化空調(diào)系統(tǒng);

　　2溫、濕度允許波動范圍差別大的潔凈室應分開設置凈化空調(diào)系統(tǒng)。

　　9.1.4潔凈室內(nèi)的新風量應取下列兩項中的最大值：

　　1補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需新風量之和;

　　2保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新風量不小于40m3。

　　9.1.5潔凈室與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規(guī)定：

　　1不同等級的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa;

　　2潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應小于5Pa;

　　3潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa。

　　9.1.6布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產(chǎn)區(qū)的風管、水管應采取減振措施。

　　9.2采暖、通風與廢氣處理

　　9.2.1嚴寒及寒冷地區(qū)各動力站房及管廊應根據(jù)技術要求設置防凍采暖設施，其他房間的采暖設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)建筑供暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范》GB50019的有關規(guī)定。

　　9.2.2潔凈室(區(qū))內(nèi)不應采用散熱器采暖。

　　9.2.3潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備均應設局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。

　　9.2.4排風系統(tǒng)的設計應符合下列規(guī)定：

　　1等離子體增強化學氣相沉積和干法刻蝕設備的尾氣應設就地處理裝置。

　　2酸、堿、有毒和有機廢氣應分開設置排風系統(tǒng)，并應設置備用風機和應急電源。

　　3陣列、彩膜、成盒廠房一般排風系統(tǒng)應設置備用風機。

　　4有冷凝液產(chǎn)生的工藝設備局部排風管宜設置坡度和排液口，冷凝液應排至相應的廢水管網(wǎng)中，且風管系統(tǒng)應采取防液體滲漏措施。

　　5有毒排風系統(tǒng)的風管應采用內(nèi)涂聚四氟乙烯的不銹鋼板制作。

　　6有毒和有機排風應采取防爆措施。

　　7酸、堿、有毒和有機排風系統(tǒng)的風管不應穿過防火墻或防火分隔物。若必須穿過時，不得設置熔片式防火閥。

　　8酸、堿、有毒和有機排風系統(tǒng)的廢氣處理設備應設在排風機的負壓端。

　　9有毒排風系統(tǒng)的風管應在便于觀察的位置設置透明觀察口，其管內(nèi)風速不應小于10m/s。

　　10工藝設備局部排風系統(tǒng)的室外風管應根據(jù)當?shù)貧庀髼l件設置防結露保溫措施。

　　11布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產(chǎn)區(qū)內(nèi)的排風管道，其管內(nèi)風速不應大于12m/s。

　　12潔凈室的排風系統(tǒng)應設置防止室外氣流倒灌的措施。

　　9.2.5廢氣處理系統(tǒng)的設計應符合下列規(guī)定：

　　1等離子體增強化學氣相沉積和干法刻蝕設備尾氣宜設置兩級就地處理裝置，對硅烷和二氧化硅的去除率不應小于98%，對其他有害物的處理效率不應小于99%。

　　2有毒廢氣處理系統(tǒng)應針對酸、堿、粉塵綜合處理。

　　3酸、堿、有機、有毒廢氣處理系統(tǒng)宜設置備用處理設備。

　　4酸、堿、有機、有毒廢氣不得采用固定床吸附劑方式處理。

　　5酸、堿、有毒廢氣宜采用淋洗方式處理，處理設備的填料層數(shù)、厚度和噴淋藥液循環(huán)量應根據(jù)有害物入口濃度、排放標準等因素計算確定。處理設備的加藥、補水和排污應采用自動方式;處理設備宜就近設置日用藥箱。

　　6處理設備的排水應進入廢水處理系統(tǒng)。

　　7有機廢氣宜采用沸石轉輪吸附、濃縮，并應經(jīng)焚燒爐氧化方式處理;焚燒后高溫氣體排入大氣前宜設置兩級熱回收裝置。

　　8剝離設備有機廢氣進入沸石轉輪處理設備前宜進行預處理。

　　9廢氣處理設備采用的級數(shù)應根據(jù)有害物的種類、初始濃度、當?shù)氐呐欧艠藴?、處理設備的效率等因素確定。

　　10兩臺及兩臺以上廢氣處理設備并聯(lián)運行時，應在每臺設備的入口設置電動或氣動密閉風閥。

　　9.2.6酸、堿、有機、有毒廢氣經(jīng)處理后應經(jīng)排氣筒排入大氣，排氣筒高度應符合現(xiàn)行國家標準《大氣污染物綜合排放標準》GB16297和環(huán)境評估報告的有關規(guī)定，排氣筒出口處風速不宜小于18m/s。

　　9.2.7酸、堿、有毒和有機排風系統(tǒng)宜在排氣筒內(nèi)設置在線監(jiān)測取樣傳感器。

　　9.2.8一般排風系統(tǒng)的排風宜作為潔凈室的回風使用。

　　9.2.9換鞋間應設置不低于10次/h的全室排風系統(tǒng)，排風口宜設置在下部;換鞋柜宜設置局部排風措施;一次更衣間宜設置不低于5次/h的全室排風系統(tǒng)。

　　9.3空氣調(diào)節(jié)與凈化

　　9.3.1凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風應集中進行熱、濕、凈化處理，新風處理機組的設置應符合下列規(guī)定：

　　1送風機應采取變頻措施;

　　2空氣應經(jīng)過粗效、中效、高效過濾器三級處理;

　　3陣列、彩膜、成盒廠房應設置備用新風處理機組;

　　4陣列、彩膜、成盒廠房的電機與風機應采用直聯(lián)驅動方式，且有良好的減振措施;

　　5新風的吸入口位置應遠離排放有害物或可燃物的排氣口;

　　6加濕方式宜采用溫水淋水室;

　　7應有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大于1%。

　　9.3.2陣列、彩膜、成盒廠房凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理，模組和背光源廠房凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用循環(huán)空氣處理機組處理。

　　9.3.3陣列、彩膜、成盒廠房的潔凈室寬度超過80m時，宜在寬度方向布置不同阻力的回風高架地板。

　　9.3.4干冷卻盤管的設置應符合下列規(guī)定：

　　1迎面風速不宜超過2.5m/s;

　　2空氣側阻力不應大于40Pa;

　　3布置在同一潔凈室(區(qū))內(nèi)的干冷卻盤管，在工作條件下空氣側阻力相差不得大于10%;

　　4冷凍水的供水溫度宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)的露點溫度;

　　5干冷卻盤管應設置排水系統(tǒng)，非落地安裝的干冷卻盤管應設置積水盤。

　　9.3.5風機過濾器機組的設置應符合下列規(guī)定：

　　1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用;

　　2宜采用直流調(diào)速電機;

　　3機組應采取消音措施，消音裝置不得采用產(chǎn)塵材料，且其燃燒性能等級應達到B級;

　　4潔凈度等級為7級～9級的潔凈室(區(qū))不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器;

　　5應便于安裝、維修及過濾器更換。

　　9.3.6當采用新風處理機組+風機過濾器機組+干冷卻盤管的凈化空調(diào)系統(tǒng)時，潔凈區(qū)各部位的風速應符合下列規(guī)定：

　　1上技術夾層不應大于4m/s;

　　2下技術夾層不應大于3m/s;

　　3回風夾道不應大于4m/s。

　　9.3.7空調(diào)冷、熱源和水系統(tǒng)的設置應符合下列規(guī)定：

　　1空調(diào)冷媒應采用低溫和中溫冷凍水系統(tǒng);除新風處理機組的二級冷卻盤管使用低溫冷凍水外，其余冷卻盤管宜使用中溫冷凍水。

　　2干冷卻盤管的中溫冷凍水系統(tǒng)宜采用同程式，供水干管的末端宜與回水干管間設置旁通管。

　　3布置在吊頂內(nèi)、下技術夾層及回風夾道內(nèi)的中溫冷凍水系統(tǒng)供水干管應保溫。

　　4布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產(chǎn)區(qū)內(nèi)的冷、熱水管的固定支架不應設置在建筑結構體系上。

　　5變電所內(nèi)不宜布置空氣調(diào)節(jié)器，不得布置各種水閥和水系統(tǒng)配件。

　　9.3.8潔凈室的送風量應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。

　　9.3.9潔凈室的噪聲控制設計的噪聲級(空態(tài))應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定，但當潔凈室采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理循環(huán)空氣時，單向流和混合流潔凈室的噪聲級(空態(tài))不應大于70dB(A)，非單向流潔凈室的噪聲級(空態(tài))不應大于65dB(A)。

　　9.4防排煙

　　9.4.1潔凈廠房中防煙樓梯間、前室或合用前室宜設置自然排煙設施，當不能滿足自然排煙要求時，應設置機械防煙系統(tǒng)。機械防煙系統(tǒng)的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

　　9.4.2潔凈廠房中不具備自然排煙的疏散走道應設置機械排煙系統(tǒng)。

　　9.4.3潔凈廠房機械排煙系統(tǒng)的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。潔凈室人員密度小于0.02人/m2，且其安全疏散距離不大于80m時，該潔凈室可不設機械排煙系統(tǒng)。

　　9.4.4潔凈室(區(qū))的排煙系統(tǒng)應有防止室外氣流倒灌的措施，并應設置用于平時巡檢的旁通管路。

　　9.4.5潔凈室(區(qū))內(nèi)的排煙風管使用產(chǎn)塵的保溫材料進行隔熱時，應為具有雙層金屬板夾保溫材料構造的成品保溫風管，保溫材料應滿足現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定，內(nèi)層金屬板的厚度應按現(xiàn)行國家標準《通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50243的有關規(guī)定執(zhí)行。

　　9.4.6排煙系統(tǒng)的設置尚應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。

　　10 給水排水

　　10.1一般規(guī)定

　　10.1.1薄膜晶體管液晶顯示器廠房潔凈區(qū)的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)。

　　10.1.2穿過潔凈室的給水排水管道應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。

　　10.1.3進、出建筑物的管道不宜直埋在結構地板內(nèi)或地板下。

　　10.2一般給水排水

　　10.2.1廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應根據(jù)工藝設備對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的不同要求確定方案。

　　10.2.2在存儲及使用化學品同時可能產(chǎn)生化學品泄漏的區(qū)域，應根據(jù)化學品的物理化學性質(zhì)和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器。

　　10.2.3給水管道的管材及附件的選擇應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。

　　10.2.4排水、雨水系統(tǒng)應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。

　　10.2.5下列區(qū)域應設置能夠存儲事故排水的設施：

　　1存儲、分配、收集液態(tài)化學品的房間;

　　2液態(tài)化學品室外卸貨區(qū)域。

　　10.2.6室外卸貨區(qū)域存儲事故排水設施的有效容積可按下列公式計算：

　　

　

　　式中：V——事故排水存儲設施的有效容積(m3);

　　V1——最大的運輸槽車中存儲的化學品量(m3);

　　V2——發(fā)生事故時可能進入該存儲設施的雨水量(m3);

　　q——降雨強度(mm)，按平均日降雨量;

　　qa——年平均降雨量(mm);

　　n——年平均降雨日數(shù);

　　F——必須進入事故廢水收集系統(tǒng)的雨水匯水面積(ha)。

　　10.3純水

　　10.3.1純水系統(tǒng)除應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472和《電子工業(yè)純水系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50685的有關規(guī)定外，尚應符合下列規(guī)定：

　　1純水系統(tǒng)應包括純水制備系統(tǒng)、純水分配系統(tǒng)及純水回收、處理系統(tǒng);

　　2純水系統(tǒng)除應滿足所需水量、水質(zhì)、水溫和水壓的要求外，還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低的要求;

　　3純水輸水及分配系統(tǒng)的附加循環(huán)流量宜大于設計用水量的20%;

　　4純水系統(tǒng)的回收率應根據(jù)工程實際情況合理確定。

　　10.3.2純水制備用原水，宜選用符合條件的再生水。

　　10.4工藝冷卻循環(huán)水

　　10.4.1工藝冷卻循環(huán)水宜采用開式系統(tǒng)。

　　10.4.2工藝冷卻循環(huán)水系統(tǒng)所采用電源的安全性應與所保護的工藝設備的電源要求一致。

　　10.4.3工藝設備循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的管道及閥門配件應根據(jù)水質(zhì)、水溫及水壓確定。

　　10.5廢水

　　10.5.1生產(chǎn)廢水排放系統(tǒng)根據(jù)工藝設備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度、水量等特點宜分別設置排放管路。有害廢水應經(jīng)過處理，達到國家或地方排放標準后排放。

　　10.5.2敷設于地下的廢水收集及輸送管路應符合下列規(guī)定：

　　1廢水收集及輸送管路應敷設在管溝中;

　　2當廢水收集及輸送管路需要直埋敷設時，應采取雙套管和設置泄漏監(jiān)測裝置防止廢水泄漏的措施。

　　10.5.3生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)應設置事故廢水收集池。事故水池總容積不宜小于廠區(qū)排量最大的一種廢水6h的排水量。

　　10.5.4生產(chǎn)廢水排放系統(tǒng)的管材、閥門及配件等應按廢水的性質(zhì)、濃度、溫度等要求確定。

　　10.5.5廢水處理設施及末端排放宜設置在線監(jiān)測儀表。

　　10.6消防給水及滅火設施

　　10.6.1廠房的消防設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

　　10.6.2廠房消火栓系統(tǒng)的設計應符合下列規(guī)定：

　　1可通行檢修的潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)層及下技術夾層應設置室內(nèi)消火栓;

　　2室內(nèi)外消火栓用水量應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB50472的有關規(guī)定。

　　10.6.3廠房內(nèi)設置的自動噴水滅火系統(tǒng)應符合下列規(guī)定：

　　1設置的自動噴水滅火系統(tǒng)應符合現(xiàn)行國家標準《自動噴水滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50084的有關規(guī)定。

　　2潔凈生產(chǎn)區(qū)及上、下技術夾層應設置自動噴水滅火系統(tǒng)。噴水強度不應小于8L/(min·m2)，作用面積不應小于160m2。

　　3特種氣體站(間)內(nèi)存儲的特種氣體與水不發(fā)生反應時，該特種氣體間應設置濕式自動噴水滅火系統(tǒng)。噴水強度不應小于8L/(min·m2)，作用面積不應小于160m2。

　　4設置在室外的硅烷站，應設置雨淋系統(tǒng)。保護部位包括硅烷鋼瓶、大宗硅烷儲罐及相關的工藝氣柜。雨淋系統(tǒng)的設計噴水強度不應小于12L/(min·m2)，火災延續(xù)時間不應小于2h。

　　5存儲和使用硅烷的房間應設置濕式自動噴水滅火系統(tǒng)。設計噴水強度不低于嚴重危險級Ⅰ級，設計噴水強度不應小于12L/(min·m2)，作用面積不應小于260m2。

　　10.6.4廠房內(nèi)設置的氣體滅火系統(tǒng)應符合現(xiàn)行國家標準《氣體滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50370和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50193及《建筑滅火器配置設計規(guī)范》GB50140的有關規(guī)定。

　　10.6.5廠房內(nèi)設置的滅火器應符合下列規(guī)定：

　　1潔凈區(qū)內(nèi)的滅火器宜采用二氧化碳滅火器;

　　2潔凈區(qū)以外區(qū)域的滅火器設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑滅火器配置設計規(guī)范》GB50140的有關規(guī)定。

　　10.6.6化學品存儲、分配、回收間的滅火系統(tǒng)應符合下列規(guī)定：

　　1存儲的化學品遇水可發(fā)生劇烈反應，產(chǎn)生不良后果的，該房間嚴禁采用水消防系統(tǒng);

　　2有機化學品的存儲、分配、收集間宜設置固定式的消防滅火系統(tǒng)。

　　11 電氣

　　11.1供配電與照明

　　11.1.1工廠的用電負荷等級和供電要求應根據(jù)現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50052和生產(chǎn)工藝要求確定。

　　11.1.2主要工藝設備由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電，有特殊要求的工作電源宜設置不間斷電源或其他提高電源質(zhì)量的設備。

　　11.1.3工廠低壓配電電壓應符合工藝設備用電要求。帶電導體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。工廠動力和照明用電系統(tǒng)接地形式應采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

　　11.1.4消防用電設備的供配電設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。

　　11.1.5潔凈室內(nèi)應選擇不易積塵、便于擦拭的配電設備。配電設備宜設在下技術夾層，并應采取擋水措施。

　　11.1.6生產(chǎn)廠房內(nèi)的電氣管線宜敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)，潔凈室(區(qū))內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導管應采用不燃材料。潔凈室(區(qū))內(nèi)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應采取可靠的密封措施。

　　11.1.7潔凈室內(nèi)照明光源宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達不到設計要求時，也可采用其他形式光源。

　　11.1.8潔凈室內(nèi)一般照明燈具的安裝方式應便于燈管更換，宜采用吸頂明裝或嵌入頂棚暗裝。若嵌入頂棚暗裝時，其安裝縫隙應采取可靠的密封措施。

　　11.1.9潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照明的照度值應根據(jù)工藝生產(chǎn)的要求確定。

　　11.1.10潔凈室(區(qū))燈具的布置應根據(jù)工藝設備的位置，在滿足工藝生產(chǎn)要求的條件下，可采用非均勻布燈方式。

　　11.1.11潔凈室(區(qū))內(nèi)應設置備用照明。備用照明宜作為正常照明的一部分，并應滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。

　　11.1.12生產(chǎn)廠房內(nèi)應設置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉角處應按現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016設置疏散標志。在專用消防口處應設置紅色應急照明燈。

　　11.1.13潔凈室(區(qū))照明設計應按工藝生產(chǎn)要求在相關區(qū)域采用黃色光源。

　　11.2防雷與接地

　　11.2.1生產(chǎn)廠房的防雷系統(tǒng)設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》GB50057的有關規(guī)定。

　　11.2.2工藝設備的功能接地電阻值不應大于1Ω，有特殊接地要求的設備，接地電阻值應滿足設備要求。

　　11.2.3功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統(tǒng)。接地電阻值應按其中最小值確定，且不得大于1Ω。根據(jù)各種接地系統(tǒng)功能不同，宜分別設置接地點與接地裝置的連接線。

　　11.2.4選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體應遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體，分開設置的接地系統(tǒng)接地極應與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。

　　11.3火災報警及消防聯(lián)動

　　11.3.1根據(jù)生產(chǎn)工藝布置和公用動力系統(tǒng)的裝設情況，火災探測器的設置應符合下列規(guī)定：

　　1潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術夾層、技術夾道、機房、站房均應設火災探測器;

　　2當潔凈室(區(qū))采用上送下(下側)回氣流組織時，在回風氣流中應設置早期報警空氣采樣火災探測器;

　　3在凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風或循環(huán)風的空氣處理設備的出口處應設火災探測器。

　　11.3.2潔凈生產(chǎn)區(qū)及其走道、技術夾層應設置手動火災報警按鈕。

　　11.3.3氣體報警裝置的設置應符合下列規(guī)定：

　　1可燃/有毒氣體或液體的儲存、分配場所應設氣體探測器;

　　2惰性氣體環(huán)境應設氧氣探測器;

　　3可燃/有毒氣體或液體的使用場所或設備、氣體管道入口室及管道閥門或接頭等易泄漏處，應設探測器;

　　4設有可燃/有毒氣體設施/管線的潔凈室的技術夾層或技術夾道內(nèi)，應設氣體探測器;

　　5氣體探測信號應與相應的事故排氣裝置連鎖控制，并應將報警信號送至消防值班室;

　　6氣體報警裝置應在啟動排風機的同時自動啟動可燃/有毒氣體切斷閥;

　　7排風系統(tǒng)應設有應急電源。

　　11.3.4工廠應設置消防值班室/控制室，消防控制室應設有消防專用電話總機。

　　11.3.5消防控制系統(tǒng)的控制、顯示、報警功能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016和《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50116的有關規(guī)定。

　　11.3.6安防系統(tǒng)對潔凈室(區(qū))火災報警應進行核實，并應進行下列聯(lián)動控制：

　　1應啟動室內(nèi)消防水泵，接受反饋信號。除自動控制外，還應在消防值班/控制室設置手動直接控制裝置。

　　2應關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的凈化空調(diào)系統(tǒng)，并應接收其反饋信號。

　　3應關閉有關部位的電動防火門、防火卷簾門。

　　4應啟動備用應急照明燈。

　　5在消防值班/控制室或低壓配電室，應手動/自動切斷有關部位的非消防電源。

　　6應啟動火災應急擴音機，進行人工或自動播音。

　　7應控制電梯降至首層，并應接收其反饋信號。

　　11.3.7安防系統(tǒng)應對潔凈室(區(qū))氣體報警進行核實，并應進行下列聯(lián)動控制：

　　1應啟動相應的排風裝置，接受反饋信號;

　　2應啟動相關部位的氣體自動切斷閥，接受反饋信號。

　　11.4通信及自控

　　11.4.1廠房內(nèi)的通信設施應符合下列規(guī)定：

　　1應設置電話、有線廣播、綜合布線、數(shù)據(jù)傳輸裝置等通信設施;

　　2宜設生產(chǎn)用對講電話;

　　3根據(jù)管理和生產(chǎn)工藝需要，宜設置閉路監(jiān)視系統(tǒng);

　　4宜設置門禁管理系統(tǒng);

　　5潔凈室(區(qū))內(nèi)的消防應急廣播宜采用潔凈揚聲器。

　　11.4.2廠房內(nèi)應設置凈化空調(diào)系統(tǒng)、高純物質(zhì)供應系統(tǒng)、供熱和供冷等公用動力系統(tǒng)的自動監(jiān)控裝置。

　　11.4.3潔凈室(區(qū))的靜壓差控制，宜設壓差變送器控制或調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的新風量或送風量。

　　11.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)電加熱器，應設置無風、超溫斷電保護。若采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。

　　12 防靜電

　　12.1一般規(guī)定

　　12.1.1薄膜晶體管液晶顯示器廠房應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電工作區(qū)。防靜電工作區(qū)設計應滿足環(huán)境控制靜電放電、防止靜電危害事故的要求。

　　12.1.2防靜電工作區(qū)設計應按薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)工序要求進行分級。防靜電工作區(qū)靜電電位絕對值應小于產(chǎn)品的靜電電位安全值。

　　12.1.3防靜電工作區(qū)設計標準應分為三級。防靜電工作區(qū)設計分級標準適用工序可按表12.1.3確定。

　　表12.1.3薄膜晶體管液晶顯示器廠房防靜電工作區(qū)設計分級標準適用工序

　　

　　12.1.4薄膜晶體管液晶顯示器廠房防靜電工作區(qū)的設計除應符合本章規(guī)定外，尚應符合現(xiàn)行國家標準《電子工程防靜電設計規(guī)范》GB50611的有關規(guī)定。

　　12.2防靜電措施

　　12.2.1薄膜晶體管液晶顯示器廠房防靜電工作區(qū)中，防靜電地面應符合下列規(guī)定：

　　1防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料，其表面電阻應為2.5×104Ω～1×109Ω，其中一級防靜電工作區(qū)地面表面電阻應為2.5×104Ω～1×106Ω;

　　2防靜電地面應設置靜電泄放導電層和接地連接，其對地電阻應為2.5×104Ω～1×109Ω;

　　3防靜電地面應具有可靠的靜電泄放接地系統(tǒng)。地面導電層接地引出點不應少于2處，且相鄰間距不應大于25m。

　　12.2.2當防靜電工作區(qū)含有吊頂和墻、柱面時，其裝飾應符合下列規(guī)定：

　　1吊頂和墻、柱面裝飾的罩面板應選用靜電耗散性材料制作，罩面板的表面電阻應為2.5×104Ω～1×109Ω，其中一級防靜電工作區(qū)應為2.5×104Ω～1×106Ω。

　　2一級防靜電工作區(qū)的墻、柱面應設置導電層。二級防靜電工作區(qū)的墻、柱面當不設置導電層時，應涂刷防靜電涂層，或裝飾靜電耗散層，其表面電阻不應大于1×109Ω。

　　3頂棚和墻、柱面裝飾有導電層要求時，應制定合理的導電層方案，采用十字形構造銅箔或設置多點間接接地的接點。當頂棚和墻、柱面裝飾設置基層骨架時，骨架應選用金屬材料制作，金屬骨架應接地。接地連接點的設置每個房間不應少于4處，相鄰連接點之間距離不應大于18m。

　　12.2.3廠房防靜電工作區(qū)的門窗設計應符合下列規(guī)定：

　　1一、二級防靜電工作區(qū)門窗應選用靜電耗散性材料制作或采用靜電耗散性材料貼面。三級防靜電工作區(qū)門窗可采用低起電材料制作，其摩擦起電電壓絕對值不應大于1000V。

　　2室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，其表面宜粘貼靜電耗散性透明薄膜，或噴涂靜電耗散性涂層。

　　12.2.4廠房防靜電工作區(qū)的其他裝修設計應符合下列規(guī)定：

　　1各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能，不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣材料;

　　2各類裝修的飾面應平整光滑。

　　12.2.5防靜電工作區(qū)的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)送風口和風管宜選用導電材料制作，并應接地。

　　12.2.6防靜電工作區(qū)的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時，宜在配管表面安裝緊密結合的金屬網(wǎng)，并應將金屬網(wǎng)接地。使用導電性非金屬軟管時，宜在軟管上安裝與其緊密結合的接觸面積不小于20cm2的金屬導體，并應用接地引線與金屬導體可靠連接后接地。

　　12.2.7防靜電工作區(qū)的送風口和各種管道的輸送裝置與配管系統(tǒng)之間應有可靠的電氣連接，并應可靠接地。送風口和各種管道的輸送裝置表面宜涂刷防靜電涂層，或按工藝要求進行防靜電處理。

　　12.3防靜電接地

　　12.3.1防靜電工作區(qū)頂棚、墻面、地面的防靜電接地、操作裝置和儀器的防靜電接地應分別設置接地連接裝置。接地連接裝置可使用易于裝拆的夾式連接器，但應保證電氣連接可靠。

　　12.3.2防靜電工作區(qū)內(nèi)應設置防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格，或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環(huán)。防靜電接地引線應從防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上就近接地，接地引線應使用多股銅線，導線截面積不應小于1.5mm2。

　　12.3.3防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應設置總等電位接地端子板、樓層等電位接地端子板、防靜電接地端子板。從總等電位接地端了板或樓層等電位接地端子板上引出的接地主干線，其截面積不應小于95mm2，并應使用絕緣屏蔽電纜或采用絕緣導線穿金屬管敷設。接地主干線引到防靜電工作區(qū)時應與設置在該區(qū)域內(nèi)的防靜電接地端子板連接。防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值不應大于0.1Ω。

　　12.3.4易燃、易爆環(huán)境以及各種液體或氣體管道采取的防靜電措施尚應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。