潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項(xiàng)目地址:深圳
封裝測試潔凈車間建設(shè)方案簡要:
常見的新型半導(dǎo)體器件封裝材料主要有三種類型:
一是陶瓷基封裝材料,優(yōu)點(diǎn)是機(jī)械強(qiáng)度高,熱穩(wěn)定,氣密性和耐濕性好,對電子系統(tǒng)起到較強(qiáng)保護(hù)作用,缺點(diǎn)是成本高,適用于高級為微電子器件的封裝。
二是塑料基封裝材料,優(yōu)點(diǎn)是材料成本低,工藝簡單,體積小,質(zhì)量輕,缺點(diǎn)是介電損耗高,脆性大,熱膨脹系數(shù)不匹配且熱導(dǎo)率低。
三是金屬基封裝材料,優(yōu)點(diǎn)是熱導(dǎo)率和強(qiáng)度高,缺點(diǎn)是成本較高,不宜實(shí)現(xiàn)大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化。
生產(chǎn)工藝流程主要有4個(gè)部分,即晶圓制造、晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。
晶圓制造是指在硅晶圓上制作電路與電子元件如電晶體、電容體、邏輯閘等,整個(gè)流程工藝復(fù)雜,主要有晶圓清洗,熱氧化,光刻(涂膠、曝光、顯影),蝕刻,離子注入,擴(kuò)散,沉積和機(jī)械研磨等步驟,來完成晶圓上電路的加工與制作。
晶圓測試是指對加工后的晶圓進(jìn)行晶片允收測試其電氣特性。目的是監(jiān)控前道工藝良率,降低生產(chǎn)成本。
芯片封裝是利用陶瓷或者塑料封裝晶粒及配線形成集成電路;起到固定,密封和保護(hù)電路的作用。
封裝后測試則是對封裝好的芯片進(jìn)行性能測試,以保證器件封裝后的質(zhì)量和性能。
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潔凈車間工程示例如下: