潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
1、微硬盤驅(qū)動器(HDD)生產(chǎn)用潔凈廠房濺射生產(chǎn)區(qū)4級:
組裝、測試等6級
2、高密度磁盤生產(chǎn)用潔凈廠房
3、表7、表8分別列出彩色顯像管生產(chǎn)、光導纖維生產(chǎn)所需的空氣潔凈度等級、溫度、濕度的實例。
4、磁頭生產(chǎn)用潔凈廠房:磁頭裝配、濺射燒結(jié)等要求4級(0.1μm),研磨、檢測等要求5級(0.1μm),切割等要求6級。
5、印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房:6.5級、24±2℃、65%±5%。
6、鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū):6級、23℃,露點(DP)-30℃;組裝、測試潔凈室(區(qū)):7級、23±2℃、≈20%。
7、等離子顯示器(PDP)生產(chǎn)用潔凈廠房:涂屏間等:5.5級、25±2℃,50%±10%;其他生產(chǎn)間:6.5~8級、20~26℃、55%±10%。
現(xiàn)代電子產(chǎn)品生產(chǎn)的重要特點之一,在許多電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中需使用高純水、高純氣體和高純化學品,且各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)時,因品種不同、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝也不同,對高純物質(zhì)的純度、雜質(zhì)含量的要求不同,它們之間差異很大。表9是中國電子級水的技術(shù)指標,表10是美國ASTMD5127電子及半導體工業(yè)用純水的水質(zhì)要求,表11是TFT-LCD生產(chǎn)用純水水質(zhì)要求,表12是一個8″集成電路芯片制造用高純水水質(zhì)要求。
近年來,對一些電子工廠的潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲級(空態(tài))的檢測資料表明,大部分單向流潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲均可小于65dB(A)也有少數(shù)潔凈室(區(qū)),由于各種原因,實際檢測的噪聲超過65dB(A)。非單向流潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲大部分可小于60dB(A)。表16是部分電子工廠潔凈室(區(qū))內(nèi)噪聲的檢測數(shù)據(jù)。